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等离子硅刻蚀及其工艺参数的多尺度优化
...合金锻造过程跨尺度模型及其工艺参数优化论文.pdf阎军等摘要:用CFDACE+和CFDTOPO分别对容性耦合等离子体反应腔室放电和等..
2018-01-22 16:40
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